公开/公告号CN202855741U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 上海丽恒光微电子科技有限公司;
申请/专利号CN201220228637.2
申请日2012-05-18
分类号H01L29/06(20060101);H01L21/20(20060101);
代理机构11314 北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟;孙向民
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室
入库时间 2022-08-21 23:45:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L29/06 登记生效日:20200507 变更前: 变更后: 申请日:20120518
专利申请权、专利权的转移
2016-05-11
专利权的转移 IPC(主分类):H01L29/06 登记生效日:20160418 变更前: 变更后: 申请日:20120518
专利申请权、专利权的转移
2013-04-03
授权
授权
机译: 具有集成电路和键合双芯片器件的相变材料(PCM)开关的晶圆对晶圆和芯片对晶圆键合
机译: 芯片上晶圆键合方法以及包括芯片和晶圆的键合装置和结构
机译: 通过导电的基质和冷却电解质在全硅硅通孔(TSV)中电解沉积铜芯片到芯片,芯片到晶圆和晶圆到晶圆的互连过程