一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置

摘要

本实用新型公开了一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于：包括有单晶炉和机械泵，在所述的单晶炉和机械泵之间设有波纹管，在所述的单晶炉的支撑脚底部和机械泵下面设有减震垫。本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，能有效减少了机械泵的震动和机械泵震动传输对炉体的影响，从而使得炉体的震动减少，消除提拉杆的抖动的泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。