声明
摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 课题的研究背景与意义
1.3 国内外发展研究现状与趋势
1.3.1 工业冷却水类型介绍
1.3.2 国内外温度测量控制技术的发展
1.4 本文主要工作内容
1.5 本文章节结构安排
第二章 蓝宝石单晶生长技术与工艺流程分析
2.1 蓝宝石单晶的特性以及生长方法
2.2 泡生法蓝宝石单晶的生长工艺流程
2.3 本章小结
第三章 泡生法蓝宝石单晶炉的冷却水自动控制系统的硬件设计
3.1 冷却水循环系统结构设计
3.2 冷却水系统的PLC选型
3.3 变频器原理及应用
3.4 制冷系统的选型与计算
3.4.1 制冷系统的额定工况计算
3.4.2 压缩机选型及热力计算
3.5 传感器选型
3.6 系统主要模块硬件接线图设计
3.7 本章小结
第四章 模糊PID控制器的研究与设计
4.1 常规PID控制原理及应用
4.2 模糊控制器的组成及原理
4.2.1 模糊控制器的组成
4.2.2 模糊控制器的原理
4.3 模糊PID控制器设计
4.3.1 模糊PID控制器结构
4.3.2 PID参数模糊自整定控制规则
4.3.3 建立仿真模型和结果分析
4.4 本章小结
第五章 泡生法蓝宝石单晶炉冷却水自动控制系统的软件设计
5.2.2 PLC主程序编写
5.2.3 手/自动程序的编写
5.3 上位机软件开发
5.3.1 上位机与PLC之间的串口通讯实现
5.3.2 上位机开发设计与实现
5.4 本章小结
第六章 泡生法蓝宝石长晶炉的冷却水控制系统调试及分析
6.1 电气控制线路调试
6.2 变频器参数的设定和调试
6.3 PLC程序运行调试
6.4 本章小结
第七章 总结与展望
7.2 未来工作展望
参考文献
攻读硕士期间的研究成果
致谢