泡生法蓝宝石结晶炉内杂质输运的模拟研究

摘要

蓝宝石晶体是一种优异的功能材料,本文针对工业用泡生法蓝宝石单晶炉,提出了结晶炉内杂质输运途径,建立了二维稳态全局杂质耦合输运模型,研究了结晶炉内杂质的输运机理.研究表明,全熔状态下,晶体生长炉内气体中O和MoO3杂质的质量分数数量级为10-04和10-13,熔体中MoO3杂质的原子浓度数量级为1016atoms·m-3.