一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置

摘要

公开一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，包括与冷却进水管直接连接的电子流量阀，与所述的电子流量阀并联的电子流量针阀，与冷却出水管串联连接的电子流量计，进行集中控制的PLC控制器，所述的电子流量阀、电子流量针阀、电子流量计与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信；所述的电子流量阀控制精度达到10升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信；所述的电子流量针阀的最小调节范围为1升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统流量变化控制在±1升/秒度以内，减少了水流量波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。