一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水温度自动控制装置

摘要

本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水温度自动控制装置，包括设置在长晶设备的冷却进水管上的进水温度传感器和冷却出水管上的出水温度传感器，以及冷却出水管上的电子流量阀，进行集中控制的PLC控制器，所述的进水温度传感器、出水温度传感器、电子流量阀与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信，所述的进水温度传感器和出水温度传感器的精度大于0.1度，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。所述的电子流量阀的最小调节范围为1升/分钟，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。利用本实用新型能使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统出水温度变化控制在0.1度以内，减少了水温波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。