用于等离子体化学气相沉积装置的控制系统

摘要

本实用新型涉及工控机控制技术，公开了一种用于等离子体化学气相沉积装置的控制系统，包括上位机和多个下位工控机，上位机和下位工控机之间通过交换机连接；上位机与送料装置相连，控制送料装置是否出料及出料量；下位工控机与推拉舟和气相沉积装置内的环境控制仪器相连，控制推拉舟的运动和气相沉积装置内的环境参数。本实用新型采用一台带显示器的工控机作为上位机，通过交换机与多个不带显示器的下位工控机相连接，由上位机向下位工控机传送控制数据，实现对被控制设备的控制操作，下位工控机将被控制设备的工作状况实时反馈给上位机，由此实现数据交互和控制。该控制系统结构简单，自动化能力强，操作方便，使用和维护成本低。