机译:通过等离子体增强的化学气相沉积和装置局部化的焦耳加热选择性沉积Si纳米玻璃器装置的沉积
Natl Chiao Tung Univ Dept Mat Sci &
Engn Grad Program Nanotechnol 1001 Ta Hsueh Rd Hsinchu 30050 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Coll Elect &
Comp Engn Inst Biomed Engn 1001 Ta Hsueh Rd Hsinchu 30050 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Dept Mat Sci &
Engn Grad Program Nanotechnol 1001 Ta Hsueh Rd Hsinchu 30050 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Coll Elect &
Comp Engn Inst Biomed Engn 1001 Ta Hsueh Rd Hsinchu 30050 Taiwan;
silicon nanobelt; localized Joule heating; plasma-enhanced atomic layer deposition; plasma-enhanced chemical vapor deposition; selective deposition;
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积和装置局部化的焦耳加热选择性沉积Si纳米玻璃器装置的沉积
机译:从非晶碳到碳纳米带和等离子增强化学气相沉积法合成的垂直取向石墨烯纳米片
机译:75℃氢化纳米晶硅等离子体化学气相沉积膜的沉积后热退火和材料稳定性
机译:使用等离子体增强化学气相沉积技术对MEMS器件铜互连的创新氮化物膜沉积
机译:通过脉冲激光沉积和化学气相沉积合成新型材料:第一部分:氮化碳薄膜的能量沉积和稳定性。第二部分:一维材料和装置的催化生长。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积和硅化物 - 包层硅电极形成的相关方法选择性沉积硅化钛膜