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首页> 中国专利> 一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管

一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管

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摘要

本发明公开了一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管。该场效应管包括：导电沟道（1）、源区（2）、漏区（3）、栅极氧化层（4）、源极（S）、漏极（D）、栅极（G）；所述的导电沟道（1）、源区（2）和漏区（3）均采用碳纳米管材料制作，在所述的导电沟道（1）、源区（2）和漏区（3）外，采用原子沉积等方法生成一层栅极氧化层（4），在栅极氧化层（4）外再沉淀一层金属电极，作为双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管的栅极（G），所述的栅极（G）采用两种不同功函数的导电金属制作，形成双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管的异质栅；具有更低的泄漏电流，更高的电流开关比，更能抑制漏致势垒降低(DIBL)效应，并能够较好满足ITRS’10相关性能指标要求。

著录项

  • 公开/公告号CN103094347B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-09-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京邮电大学;

    申请/专利号CN201310010494.7

  • 发明设计人 王伟;夏春萍;肖广然;

    申请日2013-01-11

  • 分类号H01L29/78(20060101);H01L29/49(20060101);B82Y10/00(20110101);

  • 代理机构32241 江苏爱信律师事务所;

  • 代理人唐小红

  • 地址 210003 江苏省南京市新模范马路66号

  • 入库时间 2022-08-23 09:29:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-25

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 29/78 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2018-02-13

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L29/78 登记生效日:20180124 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-02-13

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/78 登记生效日:20180124 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-02-09

    专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):H01L29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 解除日:20180116 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2018-02-09

    专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 解除日:20180116 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2018-02-09

    专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 解除日:20180116 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2018-01-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L29/78 登记生效日:20171227 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/78 登记生效日:20171227 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/78 登记生效日:20171227 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/78 登记生效日:20171227 变更前: 变更后: 申请日:20130111

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-12-14

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 发明名称:一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管 申请公布日:20130508 授权公告日:20150902 许可种类:普通许可 备案日期:20161114 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2016-12-14

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 发明名称:一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管 申请公布日:20130508 授权公告日:20150902 许可种类:普通许可 备案日期:20161114 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2016-12-14

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 发明名称:一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管 申请公布日:20130508 授权公告日:20150902 许可种类:普通许可 备案日期:20161114 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2016-12-14

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 发明名称:一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管 申请公布日:20130508 授权公告日:20150902 许可种类:普通许可 备案日期:20161114 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2016-12-14

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学 受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司 发明名称:一种双材料欠叠异质栅结构的碳纳米管场效应管 申请公布日:20130508 授权公告日:20150902 许可种类:普通许可 备案日期:20161114 申请日:20130111

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/78 申请日:20130111

    实质审查的生效

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20130111

    实质审查的生效

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20130111

    实质审查的生效

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20130111

    实质审查的生效

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20130111

    实质审查的生效

  • 2013-05-08

    公开

    公开

  • 2013-05-08

    公开

    公开

  • 2013-05-08

    公开

    公开

  • 2013-05-08

    公开

    公开

  • 2013-05-08

    公开

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