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带有欠栅的三种材料异质栅碳纳米管场效应管

摘要

本发明公开了一种带有欠栅的三种材料异质栅碳纳米管场效应管,该场效应管整体为圆柱形,从圆心向外依次为碳纳米管(1)、包围碳纳米管(1)外部的绝缘层(2)、位于绝缘层(2)外的环栅(3),绝缘层(2)为环状,长度与碳纳米管(1)相同;在碳纳米管(1)的两头分别设有源极(4)、漏极(5),与源极(4)、漏极(5)相连的碳纳米管部分分别设有长度相同的源区(41)、漏区(51),源区(41)、漏区(51)均采用相同参数的N型重掺杂;这样就加入了欠栅结构。当三种材料的功函数从源极向漏极逐步减小,或是中间功函数最大,靠漏极一侧功函数最小时,该种结构能有效的改善性能,在提高高频特性的同时提高开关电流比。

著录项

  • 公开/公告号CN103094349A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-05-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京邮电大学;

    申请/专利号CN201310038221.3

  • 发明设计人 王伟;肖广然;夏春萍;

    申请日2013-01-31

  • 分类号H01L29/78(20060101);H01L29/423(20060101);H01L29/49(20060101);

  • 代理机构32241 江苏爱信律师事务所;

  • 代理人唐小红

  • 地址 210003 江苏省南京市新模范马路66号

  • 入库时间 2024-02-19 19:15:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-04-20

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L29/78 申请公布日:20130508 申请日:20130131

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/78 申请日:20130131

    实质审查的生效

  • 2013-05-08

    公开

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