金属互连结构及金属层间通孔和互连金属线的形成方法

摘要

一种金属层间通孔的形成方法，包括：在第一介质层和第一金属层上形成种晶层，所述第一金属层嵌于所述第一介质层中；在所述种晶层上形成掩膜图形，所述掩膜图形暴露部分所述种晶层，暴露的所述种晶层覆盖部分所述第一金属层；在暴露的所述种晶层上生长第二金属层；去除所述掩膜图形和承载所述掩膜图形的所述种晶层，以暴露所述第二金属层的侧壁、部分所述第一金属层和所述第一介质层；在所述侧壁、部分所述第一金属层和所述第一介质层上形成阻挡层。以及，一种互连金属线的形成方法，均可减少孔洞的产生。一种金属互连结构，所述金属互连结构包括接触塞、通孔和互连金属线，所述通孔形成于所述互连金属线、所述金属栅极和/或所述接触塞上。