公开/公告号CN103383937B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201210365150.3
申请日2012-09-26
分类号
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司;
代理人章社杲
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:39:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-04
授权
授权
2013-12-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/538 申请日:20120926
实质审查的生效
2013-11-06
公开
公开
机译: 具有自对准金属线互连的无通孔互连结构
机译: 具有自对准金属线互连的无通孔互连结构
机译: 具有自对准金属线互连的无维亚互连结构