适用于Bump和Pad测试的MEMS垂直探针

摘要

本发明涉及一种适用于Bump和Pad测试的垂直探针，包括针头和针身，所述针头和针身的连接处设置弧形平台，所述针头的长度为40‑150μm，所述针头的宽度为30‑100μm。本发明垂直探针的针头较长，能够匹配Pad和Bump两种不同的测试应用，同一款探针适用于多种应用，可增加采购规模，降低相关成本；弧形平台的肩部设计，有助于探针台快速找到针尖位置；机械强度层采用高硬度高耐磨金属，提高探针的测试寿命。