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王粟;
哈尔滨工业大学;
MEMS; 探针; 设计;
机译:晶圆级MEMS垂直探针卡设计
机译:使用MEMS技术制造新型垂直硅探针卡的微探针束
机译:晶圆级探针垂直接触探针的接触行为研究与设计
机译:用于深层微结构的垂直轮廓测量的Balanced-SeeSaw MEMS摆动探针
机译:MEMS悬臂上的磁探针尖端用于垂直磁记录。
机译:垂直驱动MEMS惯性开关中固定电极的设计和优化以延长接触时间
机译:具有超密集阵列金属探针的mEms垂直探针卡,用于晶圆级IC测试
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计
机译:垂直MEMS探针,垂直MEMS探针卡及其制造方法
机译:利用超高频激光制造MEMS探针的方法及采用该方法设计的MEMS探针
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