MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试

王会强; 郝丽娜; 郝晓剑; 周汉昌

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MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试

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传感器作为整个系统的核心部件,其性能对整个系统的指标起至关重要的作用,尤其是动态特性的优劣直接决定能不能测试到瞬态温度的变化.本文针对MEMS热电堆高温测试系统选定的A2TPMI型热电堆传感器进行静、动态性能标定,目的是为整个高温测试系统提供比较精确的传感器参数,为整个高温测试系统的校准提供理论依据.

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来源
《计量与测试技术》|2010年第5期|44-46|共3页
作者
王会强; 郝丽娜; 郝晓剑; 周汉昌;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院,山西太原030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院,山西太原030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院,山西太原030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院,山西太原030051;

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正文语种 chi
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入库时间 2023-07-24 23:16:02

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