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测试座; 探针卡; 并行度; 应用; 垂直 ; 工艺; 集成元件; st公司 ;
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机译:用于半导体测试的垂直型探针,具有该探针的探针卡以及制造该探针卡的方法
机译:垂直针型探针卡,其制造方法,更换有缺陷的探针的方法以及使用该探针卡的晶片的测试方法
机译:用于校准接触位置的探针卡,探针测试装置,用于设置探针卡的方法以及使用用于校准接触位置的探针卡来对探针测试装置进行校准的方法
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