公开/公告号CN113547223A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国人民解放军国防科技大学;
申请/专利号CN202110822965.9
申请日2021-07-21
分类号B23K26/362(20140101);B23K26/402(20140101);B23K26/00(20140101);C23C14/35(20060101);C23C14/18(20060101);C03C15/00(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构43257 湖南企企卫知识产权代理有限公司;
代理人任合明
地址 410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号
入库时间 2023-06-19 13:00:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-22
授权
发明专利权授予
机译: 具有上下感应板的硅MEMS陀螺仪制作方法
机译: 电容式MEMS陀螺仪及其制作方法
机译: 水平驱动的垂直MEMS陀螺仪及其制作方法