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【2h】

MEMS Micro-glassblowing Paradigm for Wafer-level Fabrication of Fused Silica Wineglass Gyroscopes

机译：用于熔融石英玻璃酒杯陀螺仪晶圆级制造的MEMS微玻璃吹制范例

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Senkal Doruk; Ahamed Mohammad J.; Askari Sina; Shkel Andrei M.;
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年度 2014
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