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托盘及其加热装置、显示基板翘曲的修复方法

摘要

本文公开了一种托盘及其加热装置、显示基板翘曲的修复方法。托盘包括:导热板,包括相对设置的第一表面和第二表面以及贯通第一表面和第二表面的过孔,第一表面设置为承载显示基板的承载面;堆叠结构,包括支撑部和设置于支撑部上的插槽;其中,支撑部设置于第一表面或第二表面,并与过孔位置对应,插槽与过孔连通。本文通过在导热板上设置堆叠结构,堆叠结构包括支撑部和设置于支撑部上的插槽,在多个托盘堆叠时,通过支撑部和插槽插接配合,下层托盘可以对上层的托盘进行支撑,进而相邻的导热板之间能够形成容置显示基板的空间,导热板能够将热量均匀的传递到多层托盘之间的显示基板上,保证了显示基板在热处理过程中受热均匀。

著录项

  • 公开/公告号CN112038269A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202011043561.1

  • 发明设计人 叶赛;

    申请日2020-09-28

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);H01L51/56(20060101);

  • 代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;

  • 代理人解婷婷;曲鹏

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

  • 入库时间 2023-06-19 09:09:01

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