公开/公告号CN112038269A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司;
申请/专利号CN202011043561.1
发明设计人 叶赛;
申请日2020-09-28
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人解婷婷;曲鹏
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2023-06-19 09:09:01
机译: 基板翘曲去除装置,基板翘曲检测单元,基板处理装置,方法以及存储介质的基板翘曲去除装置及方法
机译: 基板翘曲预测方法,基板翘曲预测系统以及基板翘曲预测程序
机译: 3D基板翘曲分析系统,3D基板翘曲分析装置,3D基板翘曲分析方法和程序。