晶圆标记方法及晶圆标记系统

摘要

本发明涉及晶圆标记方法及晶圆标记系统，将光学扫描所获取的缺陷按照风险程度的不同进行区分，其中，风险程度高的特殊缺陷引起的所述晶圆的不合格程度高于风险程度低的一般缺陷，计算得到特殊缺陷所在die周边n圈的die的坐标，并且对一般缺陷所在die、特殊缺陷所在die以及位于所述特殊缺陷所在die周边n圈的die进行标记。使用本发明提供的晶圆标记方法及晶圆标记系统，免去了人工判断缺陷的类型和分布，可以极大的提高工作效率；通过对具有潜在的不合格风险但未被光学扫描获取的缺陷所对应的虚拟die进行标记，可以降低晶圆上仍存在不合格die的潜在风险。