EV集团将GEMINI(R)300 mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业

摘要

EV集团（EVG）是微电子机械系统（MEMS）、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商，该集团宣布其EVGGEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的（MEMS）微电子机械系统大批量制造（HVM）。这是微电子机械系统工业（MEMS）的重要里程碑。