图像处理在晶圆瑕疵自动标记系统中的应用

摘要

针对传统晶圆测试手工标记瑕疵的不足,提出了应用机器视觉技术进行晶圆瑕疵的自动标记.首先,对晶圆图像进行预处理,提取晶圆边缘图像;其次,利用最小二乘法检测晶圆的直径.在此基础上通过坐标变换获得晶圆瑕疵的坐标,将其传递给探针台,由探针台自动将有瑕疵的晶圆剔除.最后,通过实验验证了该方法的实用性与有效性.