MEMS麦克风组件中的开口腔基板及其制造方法

摘要

MEMS麦克风组件中的开口腔基板及其制造方法。一种声学装置包括基板。在所述基板上布置有微机电系统MEMS器件。所述MEMS器件在所述MEMS器件和所述基板之间形成后容积。在所述基板上布置集成电路。在所述基板上布置盖并且所述盖包括端口。所述盖形成腔体，所述MEMS器件和集成电路被布置在所述腔体内。盖、基板、MEMS器件和集成电路形成前容积。在所述腔体内布置填充材料以减小在没有所述填充材料时会存在的所述前容积的量。