公开/公告号CN106101975B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201610537336.0
申请日2016-04-15
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人郭毅
地址 德国斯图加特
入库时间 2022-08-23 10:50:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
授权
授权
2018-05-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H04R31/00 申请日:20160415
实质审查的生效
2018-05-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 31/00 申请日:20160415
实质审查的生效
2016-11-09
公开
公开
2016-11-09
公开
公开
2016-11-09
公开
公开
查看全部
机译: 在MEMS元件的层结构中制造麦克风结构和压力传感器结构的方法
机译: 在mems元件的层结构中制造麦克风结构和压力传感器结构的方法
机译: 在MEMS装置的层结构中制造麦克风结构和压力传感器结构的方法