一种利用类金刚石复合膜进行金刚石薄膜平坦化的工艺

摘要

一种采用类金刚石复合膜法进行金刚石薄膜平坦化的工艺，步骤如下：1)以单面抛光的硅片为基底，采用常规沉积工艺制备金刚石薄膜；2)在沉积金刚石薄膜的硅片上，采用化学气相沉积法，沉积类金刚石薄膜；3)采用化学机械抛光法，对类金刚石薄膜进行平坦化，从而得到高度平坦化的金刚石薄膜。本发明的优越性是：本发明制备方法简单，具有去除量少、表面硬度小、抛光效率高等优点，消除了各种去除式抛光工艺的缺点，增大了抛光面积，提高了薄膜质量，采用非金刚石粉的磨料可大大降低成本，通过实验证实可以高效率的得到表面粗糙度Ra＜1.5nm的金刚石薄膜，而金刚石薄膜仍保持原有性质不变。