使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法

摘要

类金刚石薄膜是广泛应用的新型材料.介绍了拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的原理,对不同类型薄膜与不同波长光谱的情况进行了总结:可见光拉曼光谱中,随着sp3含量的增加,ID/IG减小,sp3含量较低的薄膜G峰位置向低频方向偏移;sp3含量较高的薄膜G峰位置向高频方向偏移.紫外拉曼光谱中G峰位置比相应的可见光光谱要高,并且存在T峰,可直接表征sp3含量.同时以热处理、离子轰击能量为例对拉曼光谱的应用进行了说明.