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福本昌宏; 蒋修治;
不详;
日;
工艺; 合成金刚石; 沉积; 合成; 成核密度; 结晶性; 降低; 热等离子体; 金刚石薄膜; CVD;
机译:基板夹持器设计对微波等离子体辅助CVD生长大面积多晶金刚石薄膜应力和均匀性的影响
机译:通过微波等离子体CVD沉积大面积均匀金刚石薄膜
机译:热等离子体CVD法合成大面积金刚石涂层
机译:双微波发射器系统用于金刚石薄膜合成的微波等离子体CVD反应器
机译:类热等离子体放电对金刚石薄膜的微波辅助等离子体CVD
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:ECR等离子体CVD法低压低温合成大面积金刚石薄膜的研究
机译:通过热丝CVD工艺生长的金刚石薄膜中的纹理发展。
机译:具有用于涂覆或处理大面积基板的激发气体的远程激发的等离子体辅助化学沉积工艺(CVD)(远程等离子体CVD工艺)及其执行装置
机译:大面积CVD金刚石单晶的生产工艺及该工艺获得的大面积CVD金刚石单晶的生产工艺
机译:金刚石薄膜的水基等离子体CVD工艺及装置
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