利用改进CVD工艺在WC-Co硬质合金牙钻上沉积金刚石薄膜

摘要

利用改进热丝化学气相沉积系统在(WC-Co)硬质合金牙钻切刃上沉积粘着性金刚石薄膜.试验发现,原生薄膜通常为聚晶,且薄膜覆盖效果良好.利用显微拉曼光谱表征了牙钻尖端、牙钻中部和牙钻末端等3个位置的应力分布.经计算,牙钻背部、中部和尖端的压应力分别为-1.7GPa、-2.3 GPa和 -3.4 GPa.经双色光测高温计测量发现,热丝温度是沿热丝螺旋方向变化的.螺旋热丝中心区的温度比热丝边缘高.牙钻尖端刃口的温度比牙钻中部和背部都高.切削齿距热丝较近,可望处在稍高的温度.因此,沉积在切削齿刃口上的涂层比平板状牙钻基材厚.