公开/公告号CN101271856A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 万国半导体股份有限公司;
申请/专利号CN200810086659.8
申请日2008-03-21
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/306(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/78(20060101);H01L23/544(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人王敏杰
地址 百慕大哈密尔敦维多利亚街22号佳能院
入库时间 2023-12-17 20:49:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/66 登记号:Y2019500000007 登记生效日:20191210 出质人:重庆万国半导体科技有限公司 质权人:国家开发银行重庆市分行 发明名称:测定蚀刻深度及形成屏蔽栅极沟槽及MOSFET晶圆 授权公告日:20110223 申请日:20080321
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-10-26
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/66 登记生效日:20160930 变更前: 变更后: 申请日:20080321
专利申请权、专利权的转移
2011-02-23
授权
授权
2008-11-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-09-24
公开
公开
机译: 用于测试SOI晶片中沟槽蚀刻深度的测试结构在蚀刻绝缘沟槽后具有一行连接的岛,其中每个岛都被一个沟槽围绕,该沟槽的宽度因岛而异
机译: 蚀刻深度测定装置,蚀刻装置及蚀刻深度测定方法
机译: Mos技术中使用基于sion的硬掩模蚀刻栅极的方法