光刻机照度均匀性补偿方法及装置、照明系统及光刻机

摘要

本发明提供了一种光刻机照度均匀性补偿方法及装置、照明系统及光刻机，通过采集一定时间内光刻机的基板面上的照度分布数据，以在光刻机生命周期内不同阶段下，将对应阶段的补偿区设置于曝光光路的补偿面上，对入射至基板面的光强进行补偿，使光刻机在其生命周期内的照度均匀性满足控制要求，通过增加补偿工位，实现对照明系统整个生命周期内的照度均匀性进行预补偿，在实现均匀补偿的同时，延长均匀补偿的生命周期，以降低成本、提高可靠性、降低了制造成本及技术难度，并且，由于所述补偿板是通过绕中心轴旋转以切换补偿工位的，减少可动机构，优化了控制策略。