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一种实现不同照明方式的光刻机照明系统的研究

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针对不同图形周期、占空比、方向的微电子器件,采用不同的照明方式能够使光刻机的分辨率和焦深达到最优.本文分析了一种新颖的、能够实现不同照明方式自由调制和切换的193nm准分子光刻机照明系统的原理,并对其组成部分进行了介绍.

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来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|326-329|共4页
会议地点北京
作者
郑国兴; 杜春雷; 冯伯儒;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光刻机; 照明系统; 衍射光学元件;

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