法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F1/00 申请公布日:20150225 申请日:20141121
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/00 申请日:20141121
实质审查的生效
2015-02-25
公开
公开
机译: 光刻工艺评估系统,光刻工艺评估方法,曝光系统评估方法,掩模图案设计方法和半导体设备制造方法
机译: 掩模版组件,光刻设备,光刻工艺中的用途以及在光刻工艺的单次扫描运动中投影两个或多个像场的方法
机译: 验证安装在立体光刻机中的消耗元件的方法和使立体光刻机执行打印过程的方法