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软X射线光刻机对准系统中的图象预处理方法

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摘要

在图象处理系统中，处理速度是很重要的技术指标。本文介绍了一种采用求和投影法进行的预处理方法，在处理速度方面得到了很大的提高，取得了比较理想的效果．

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来源
《光电工程》|1999年第s1期|P.79-81|共3页
作者
苏伟军; 王继红;
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作者单位

中国科学院光电技术研究所!四川成都６１０２０９;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
X射线光刻机; 对准系统; 图象预处理;

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