一种分体式差分硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种分体式差分硅微谐振式加速度计，包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层。其中硅结构层由上下完全对称的两部分结构组成，每部分结构包括质量块、谐振器、杠杆放大机构、支撑梁、锚区等部分；上下两部分结构仅在中间共用两个锚区，其余结构完全分离。每个质量块通过折叠梁与锚区相连，谐振器位于质量块的中间，杠杆放大机构中杠杆机构的输出梁和支点梁位于杠杆臂的同一侧，输入梁位于杠杆臂的另一侧，每个杠杆的输入梁与质量块相连，输出梁与谐振器相连。本发明提出的分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制共模误差，而且可以完全消除上下谐振器的耦合影响。