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一种新颖的谐振式差分微加速度传感器的理论建模

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摘要

为了提高灵敏度,提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理,推导该设计的理论模型,包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导,得到待测加速度与输出固有频率偏移的关系。使用有限元模拟来证实理论模型,模拟的结果说明该设计的灵敏度高于4KHz/g.

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来源
《中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会》|2006年|884-886|共3页
会议地点北京
作者
陈健; 陈德勇; 王军波;
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作者单位

中国科学院电子学研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.17;TN751.24;
关键词
微机械电子系统; 谐振式微加速度传感器; 微型杠杆结构; 结构差分检测; 有限元模拟;

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