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【2h】

An in-plane high-sensitivity, lownoise micro-g silicon accelerometer

机译：面内高灵敏度，低噪声微g硅加速度计

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Junseok Chae; Haluk Kulah; Khalil Najafi;
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年度 2003
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1. Characterization of a high-sensitivity micromachined tunneling accelerometer with micro-g resolution [J] . Cheng-Hsien Liu, Barzilai A.M. Journal of Microelectromechanical Systems . 1998,第2期

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2. A Monolithic Three-Axis Micro-g Micromachined Silicon Capacitive Accelerometer [J] . Junseok Chae, Haluk Kulah, Khalil Najafi Journal of Microelectromechanical Systems . 2005,第2期

机译：单片三轴微克微加工硅电容式加速度计
3. An all-silicon single-wafer micro-g accelerometer with a combined surface and bulk micromachining process [J] . Yazdi N., Najafi K. Journal of Microelectromechanical Systems . 2000,第4期

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4. An in-plane high-sensitivity, low-noise micro-G silicon accelerometer [C] . Junseok Chae, Haluk Kulah, Khalil Najafi IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2003

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8. Micro-g Triaxial Piezoelectric Satellite Accelerometer System Development. [R] . Fryklund, D. H. 1981

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