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机译:通过绝缘体上硅-MEMS技术制造的具有差分结构的微机械谐振面外加速度计
State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, People's Republic of China;
机译:SOI-MEMS技术制造的具有两级微杠杆机制的共振加速度计
机译:使用MetalMUMPs技术制造的全差分MEMS加速度计的设计与表征
机译:基于SOI技术的MEMS差分电容加速度计结构的设计与制造
机译:一种新型微机器外谐振加速度,具有不同高度共振梁的差动结构
机译:由具有声子晶体结构和碳纳米管吸收层的绝缘体上硅制成的MEMS红外热电堆。
机译:使用MetalMUMPs技术制造的全差分MEMS加速度计的设计与表征
机译:采用metalmUmp技术制作全差动mEms加速度计的设计与表征