氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺及使用该靶材制备氧化锌锡镀膜的方法

摘要

本发明提出了一种氧化锌锡陶瓷靶，其特征在于，所述氧化锌锡陶瓷靶包括纯度为99.99%的氧化锌粉体和纯度为99.99%的氧化锡粉体混合而成，其中，所述氧化锌粉体和所述氧化锡粉体的质量百分比为6:4～7:3的任一配比。本发明还提出了一种氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺，以及使用该靶材制备氧化锌锡膜的方法。本发明制备的氧化锌锡薄膜膜层纯净、粒径均匀、溅射电压稳定性强，工艺易于控制，膜层结合力强，膜层致密性好，膜层可以在无氧的条件下应用于低辐射镀膜玻璃之中。