氧化锌靶溅射制备铜锌锡硫薄膜太阳电池的方法

摘要

本发明公开了一种制备铜锌锡硫薄膜电池的方法，具体包括以下步骤：将钠钙玻璃衬底用丙酮、酒精、去离子水超声清洗，用重铬酸钾溶液浸泡，最后用去离子水超声清洗，用氮气吹干备用。将钠钙玻璃衬底放入磁控溅射系统中沉积1μm的钼背电极；以SLG/Mo/ZnO/Sn/Cu的顺序进行射频溅射，沉积600~800nm的铜锌锡氧预制层。将预制层在氮气下低温热处理，随后高温硫化得到铜锌锡硫薄膜吸收层，并制备成完整的电池结构。本发明的优点在于：（1）铜锌锡预制层在硫化后很难生成平坦吸收层，铜锌锡氧预制层硫化后表面平整并且没有针孔。（2）引入氧原子避免了硫化过程中体积突然膨胀，使薄膜脱落。(3)氧化锌在底部能起到阻挡层的作用，抑制硫化过程中生成硫化钼。