多周期溅射单质靶制备铜锌锡硫薄膜电池

摘要

采用多周期磁控溅射单质靶Cu-Sn-Zn制备CZTS薄膜太阳电池。多周期包含两周期和四周期,同时与单周期制备的CZTS薄膜电池作对比。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪(Raman)对不同周期得到的CZTS薄膜的晶体性质、表面样貌、化学成分等性质进行分析研究。分析结果显示,多周期制备的CZTS薄膜晶体质量要比单周期的好,表面均匀致密。重要的是四周期溅射制备的CZTS薄膜是研究的最佳实验组。最终把不同周期得到的CZTS薄膜制备成完整的器件结构,得到的太阳电池效率分别是:单周期2.64%,两周期3.01%,四周期3.36%。