铜锌锡硫或铜锌锡硒薄膜太阳能电池吸收层靶材及其制备方法和应用

摘要

本发明提供一种铜锌锡硫或铜锌锡硒薄膜太阳能电池吸收层靶材，其特征在于，所述靶材中Cu、Zn、Sn、S的摩尔配比为(1.8～2.2)∶(0.8～1.2)∶(0.8～1.2)∶(3.6～4.4)，或Cu、Zn、Sn、Se的摩尔配比为(1.8～2.2)∶(0.8～1.2)∶(0.8～1.2)∶(3.6～4.4)；其中，所述靶材以Cu2ZnSnX4(X＝S，Se)为主相。本发明还提供所述靶材的制备方法，以及所述靶材在制备太阳能电池吸收层薄膜中的应用，通过磁控溅射或激光脉冲沉积可直接制备得到Cu2ZnSnX4(X＝S，Se)薄膜。本发明工艺简单、制成的靶材组分均匀、致密度高，特别适合用于磁控溅射和脉冲激光沉积系统制备Cu2ZnSnX4(X＝S，Se)薄膜太阳能电池吸收层。