一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法

摘要

本发明公开一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步骤一：自动派工系统进行WAT测试的派工时通过Recipe查询本次测试所需的探针卡类型；步骤二：自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型；如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡，如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡；步骤三：机台自动更换系统将机台内的探针卡换出，同时，机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台；步骤四：所需类型的探针卡换入后Lot测试开始。使用本发明通过探针卡Stoker、探针卡搬运系统和自动更换系统来实现探针卡的自动更换，平衡探针卡的使用频率，有效地避免手动换卡时出现放错卡的问题。

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体测试领域，尤其涉及一种晶圆可接受性测 试的探针卡自动更换方法。

背景技术

现有的晶圆可接受性测试（Wafer Acceptance Test，简称：WAT） 探针卡都是由操作人员根据制程方法（Recipe）需要的探针卡类型进 行手动更换，这种更换方式效率低下，而且容易出现放错探针卡的情 况。同时，人工更换探针卡不能保证相同类型的探针卡的使用率保持 一致，容易出现某几张探针卡过度使用，而其它探针卡闲置不用的状 况。而且探针卡的人工更换成为了WAT机台实现全自动化测试的障 碍。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种晶圆可接受性测试的探针卡自动 更换方法。

本发明解决技术问题所采用的技术方案为：

一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步骤一： 自动派工系统进行晶圆可接受性测试的派工时通过制程方法查询本 次测试所需的探针卡类型；步骤二：自动派工系统查询需要派工的机 台上的探针卡类型；如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致 则不用换卡，如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需 要换卡；步骤三：机台自动更换系统将机台内的探针卡换出，同时， 机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台；步 骤四：所需类型的探针卡换入后晶圆批次测试开始。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，包 括探针卡搬运系统，步骤三中，探针卡搬运系统将机台内换出的探针 卡搬运到探针卡排。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，探 针卡搬运系统将所需类型的探针卡搬运到机台。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步 骤三中，机台自动更换系统选择所需类型的探针卡中累计测试次数最 少的一张探针卡。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步 骤四中，测试时机台将所需类型的探针卡的累计扎针次数计入系统。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，所 有探针卡存放在探针卡排中。

上述的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，机 台上有探针卡信息。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

通过探针卡排、探针卡搬运系统和自动更换系统来实现探针卡的 自动更换，平衡探针卡的使用频率，有效地避免手动换卡时出现放错 卡的问题。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附 附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法 的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本 发明的限定。

图1为本发明的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法 的流程图，请参见图1所示。

本发明的一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，包括以 下步骤：

步骤一：自动派工系统1进行WAT测试的派工时通过Recipe 查询本次测试所需的探针卡类型；

步骤二：自动派工系统1查询读取需要派工的机台3上的现有探 针卡类型信息；如果机台3上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则 不用换卡，如果机台3上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需 要换卡；

步骤三：机台自动更换系统将机台3内的探针卡换出，同时，机 台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台3；

步骤四：所需类型的探针卡换入后，晶圆批次（Lot）测试开始。

本发明在上述基础上还具有如下实施方式：

本发明的进一步实施例中，请继续参见图1所示。还包括有探针 卡搬运系统。如果机台3上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则 需要换卡，步骤三中，探针卡搬运系统将机台3内换出的探针卡搬运 到探针卡排（Stoker）2，并且探针卡搬运系统将所需类型的探针卡搬 运到机台3。

本发明的进一步实施例中，步骤三中，在所需类型的探针卡有多 张卡可以选择时，机台自动更换系统优先选择所需类型的探针卡中累 计测试次数最少的一张探针卡，并将所需类型的探针卡搬运到机台3。

本发明的进一步实施例中，步骤四中，所需探针卡换入机台3后 测试开始，测试时机台3将所需类型的探针卡的累计扎针次数计入系 统。

本发明的进一步实施例中，所有探针卡存放在探针卡Stoker2中。

本发明的进一步实施例中，机台上已有探针卡信息。

综上所述，使用本发明的一种WAT探针卡自动更换方法，通过 探针卡Stoker、探针卡搬运系统和自动更换系统来实现探针卡的自动 更换，平衡探针卡的使用频率，有效地避免手动换卡时出现放错卡的 问题。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施 方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用 本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得 到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。