极紫外光刻复眼匀光离轴照明系统及实现离轴照明的方法

摘要

本发明提供一种EUVL复眼匀光离轴照明系统，包括等离子体光源、二次曲面反光碗、双排复眼以及中继镜组；其中所述双排复眼由视场复眼和光阑复眼组成，所述中继镜组由凸二次曲面反光镜和凹二次曲面反光镜组成；视场复眼由N个弧形复眼元密排组成，每一弧形复眼元反射面均为凹球面，且每一弧形复眼元对应的倾斜角可调；所述N个弧形复眼元排成n列，各列上弧形复眼元的个数由中间向两边递减，且所有弧形复眼元的朝向一致；光阑复眼由M个光阑复眼元密排组成，每一光阑复眼元均为一个方形平面反射镜，且每一光阑复眼元对应的倾斜角可调；所述M个光阑复眼元排布于一个近似圆形的区域内。本发明能够实现二极照明、四极照明和环形照明等多种离轴照明模式。