毛细管放电的X光激光若干特性及极紫外光刻光源研究
Study on some characteristic of X-ray laser and extreme ultraviolet lithographic source in capillary discharge
摘要
Abstract
Contents
第1章 绪论
1.1 课题背景
1.1.1 毛细管放电软X 射线激光
1.1.2 毛细管放电极紫外光刻光源
1.2 毛细管放电极紫外光源研究的目的及意义
1.2.1 软X 射线激光
1.2.2 极紫外光刻光源
1.3 本论文主要研究内容
第2章 毛细管放电软X 射线激光研究的基本理论
2.1 引言
2.2 毛细管放电Z 箍缩效应
2.2.1 Z 箍缩效应
2.2.2 毛细管放电Z 箍缩
2.2.3 雪耙模型
2.2.4 等离子体多次箍缩对雪耙模型的修正
2.3 类氖氩系统原子参数研究
2.3.1 离子的电子碰撞激发
2.3.2 亚稳能级的单极激发
2.3.3 Cowan 程序
2.3.4 类氖氩系统原子参数的计算
2.3.5 粒子数反转的形成
2.4 类氖氩等离子体动力学过程研究
2.4.1 一维非平衡磁流体力学XDCH 程序介绍
2.4.2 动力方程的一维近似
2.4.3 类氖氩46.9nm激光的模拟
2.4.4 类氖氩46.9nm激光的准稳态增益
2.5 相关参数的计算方法
2.5.1 高增益所需的最大电子密度
2.5.2 箍缩电流的计算
2.5.3 激光输出能量的计算方法
2.6 本章小结
第3章 毛细管放电软X 射线激光装置和若干输出特性实验研究
3.1 引言
3.2 毛细管放电软X 射线激光装置
3.2.1 Marx 发生器
3.2.2 Blumlein 传输线
3.2.3 主开关
3.2.4 毛细管放电室
3.2.5 毛细管放电检测转接室设计
3.3 预-主脉冲延时对激光输出影响的实验研究
3.3.1 预-主脉冲的工作原理
3.3.2 最佳工作气压的确定
3.3.3 不同预-主脉冲延时的激光输出
3.3.4 预-主脉冲延时作用的分析
3.4 主开关电感对激光输出作用的实验研究
3.4.1 主开关支座改进引起主开关电感对激光输出的影响
3.4.2 改进前后的实验结果
3.4.3 改进后的效果
3.4.4 对激光参数的影响
3.5 产生激光的主脉冲电流阈值研究
3.5.1 国际上各研究小组实验参数对比
3.5.2 阈值电流的探索实验
3.5.3 探索阈值电流的意义
3.6 毛细管放电46.9nm 激光谱线的辨认
3.6.1 谱线辨认方法
3.6.2 测谱实验
3.6.3 谱线辨认
3.7 本章小结
第4章 毛细管放电极紫外光刻光源演示装置
4.1 引言
4.2 重要参数的计算
4.2.1 中心波长的能级跃迁
4.2.2 约束等离子体所需电流
4.2.3 毛细管放电等离子体的箍缩时间
4.2.4 毛细管的阻抗特性
4.2.5 毛细管的击穿特性
4.2.6 等离子体电离度计算
4.3 装置设计和研制
4.3.1 主要系统简介
4.3.2 电源系统
4.3.3 放电系统
4.4 装置的安装和调试
4.4.1 装置使用说明
4.4.2 预脉冲电源调试
4.4.3 主脉冲电源调试
4.5 毛细管放电气体介质极紫外辐射光谱实验观察
4.5.1 极紫外辐射收集室方案设计
4.5.2 罗兰园谱仪标定
4.5.3 极紫外辐射光谱实验观察
4.6 本章小结
第5章 毛细管放电三束等离子体极紫外光源方案
5.1 引言
5.2 毛细管放电三束等离子体光源的概念设计
5.2.1 极紫外光刻光源发展面临的难题
5.2.2 概念设计方案
5.3 毛细管放电三束等离子体环带光源的形成
5.3.1 受力方式分析
5.3.2 等离子体终态形状的差异
5.3.3 三束等离子体环带光源的形成过程
5.4 毛细管放电三束等离子体的定性计算
5.4.1 洛仑兹力的作用
5.4.2 热压力的作用
5.4.3 等离子体辐射所需条件
5.5 毛细管放电三束等离子体光源的发展前景
5.5.1 较大的发光体积
5.5.2 较大的最佳收集角
5.5.3 可能的毛细管内部结构设计方案
5.5.4 具有良好应用前景的可调谐光源
5.6 本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
致 谢
个人简历