公开/公告号CN109521648A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201810004571.0
申请日2018-01-03
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人桑敏
地址 中国台湾新竹市
入库时间 2024-02-19 07:58:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20180103
实质审查的生效
2019-03-26
公开
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机译: EUV光刻中的EUV湿度控制
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