机译:高NA EUV光刻中的波导效应:将EUV光刻扩展到4 nm节点的关键
Fastlitho, San Jose, CA 95112 USA;
Boston Univ, Boston, MA 02215 USA;
Hanyang Univ, Ansan 426791, Gyeonggi, South Korea;
机译:EUV光刻:高NA EUV光学器件正在发展中
机译:IMEC演示了具有高NA EUV干扰光刻的20nm间距线/空间抗蚀剂成像
机译:高NA EUV平版印刷术的相移吸收器堆栈的优化
机译:EUV的进展阻碍了高NA EUV光刻技术的发展
机译:EUV光刻系统幅度和相位瞳孔变化的测量
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:EUV光刻插入制造中的准备情况:IMEC EUV计划
机译:光化掩模成像:sHaRp EUV显微镜的最新结果和未来方向。会议:极紫外(EUV)光刻V,加利福尼亚州圣何塞,2014年2月23日;相关信息:期刊出版日期:2014年4月17日。