Metal films; Etching; Silicides; Transition metals; Fabrication; Integrated circuits; Plasma jets; Transition metal compounds; Deposition; Deposits; Atoms; Electrical resistance; Fluorides; Chlorides; Fluorine; Heat treatment; Thin films; Molybdenum; Phase transfor;
机译:用于硅化物接触形成的过渡金属原子层沉积:生长特性和硅化作用
机译:等离子增强CVD:氧化物,氮化物,过渡金属和过渡金属硅化物
机译:基于过渡金属硅化物的量子点形成过程的模拟
机译:煤矿中植入形成空腔和硼硅化物沉淀物的强偏析过渡金属
机译:β-硅化铁,硅化钌和硅化的光学性质:半导体过渡金属硅化物。
机译:扶手椅MoS2纳米带通过过渡金属和Si原子链的沉积变成半金属
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积和硅化物 - 包层硅电极形成的相关方法选择性沉积硅化钛膜