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机译:用于硅化物接触形成的过渡金属原子层沉积:生长特性和硅化作用
School of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, 262 Seongsanno, Seodaemun-gu, Seoul 120-749, Republic of Korea;
Atomic layer deposition; Contact; Cobalt; Nickel; Silicidation;
机译:镍薄膜的特性和通过使用Ni((i)Pr-DAD)(2)进行远程等离子体原子层沉积形成硅化镍
机译:电接合和形成电接触式单层过渡金属二均甲基甲基甲基物的增长和形成
机译:通过在TiN衬底上进行热绝缘和基于O_3的原子层沉积而生长的Ta_2O_5的生长特性和电特性
机译:ErSi / sub 1.7 // Si(100)体系中原子平面界面的形成和硅化条件对肖特基接触特性的影响
机译:含氮供体配体的第2组和第一排过渡金属配合物:用于原子层沉积薄膜生长的金属源前驱体设计。
机译:用于超宽带光吸收的金属-绝缘体多层中的无序纳米孔图案:用于光刻的原子层沉积无高度可重复的大规模多层生长
机译:Ni((i)pr-DaD)远程等离子体原子层沉积镍薄膜的特性及硅化镍的形成(2)
机译:原子层沉积氧化物表面贵金属的成核与生长