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机译:晶圆级BCB盖转移包装中晶圆弯曲的影响研究
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机译:硅衬底中基于BCB /金属结构的宽带微波传输系统晶圆级封装
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机译:具有MMIC的集成MEMS开关的晶圆级BCB CAP封装
机译:具有微帽阵列的前端晶圆级微系统封装技术。
机译:使用预图案化BCB聚合物的RF MEMS应用的晶圆级封装方法
机译:晶圆级真空密封通过将硅盖的转移键合用于小型占地面积和超薄MEMS封装