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李胜利; 黄立; 马占锋; 高健飞; 王春水;
武汉高芯科技有限公司 湖北武汉430000;
H2O2; NH3·H2O; 晶圆级封装; 钛(Ti)腐蚀; 腐蚀速率;
机译:晶圆级MEMS封装中晶圆铜互连的实验研究
机译:用于MEMS晶圆级封装的Au / Sn和Cu / Sn电镀材料系统的低温瞬态液相键合
机译:使用LTCC晶圆的MEMS晶圆级封装技术
机译:晶圆级晶圆级封装,具有通孔-晶圆互连和通孔的深度反应性微机电封装,适用于MEMS应用
机译:低温晶圆级MEMS封装和封装内湿度监控。
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
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机译:晶圆级封装微机电系统(mEms)加速开关的非破坏性阻尼测量。
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